Ãʼø¼ö
°¢Á¾ »ê¾÷¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¹°Àº ÃÊÁ¤¹Ð »ê¾÷Àϼö·Ï Á¦Ç°ÀÇ Ç°ÁúÀ̳ª ¿îÀü°ü¸®¿¡ °áÁ¤ÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í °°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ µî°ú °°Àº ÃÊÁ¤¹Ð »ê¾÷¿¡¼´Â ±Øµµ·Î Á¤Á¦µÈ Ãʼø¼ö(Ultra Pure Water Or De-ionized Water)°¡ ´ë·® ÇÊ¿äÇϸç, ÀÓÀÇÀÇ ¹°ÁúÀ» ±âÁØÀ¸·Î º¸Åë PPMÀÇ 1/1000´ÜÀ§ÀÎ PPBÀÇ ¼øµµ¸¦ °®°í ÀÖ´Â ¿µ¿ªÀÇ ¹°À» ÁöĪÇÑ´Ù. ±¸¸Å, ½Ã°ø, Ç°Áú°ü¸®, ½Ã¿îÀü ¹× Guarantee¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ Service¸¦ Á¦°ø ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀ» ÃàÀûÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
Á¤Á¦¼ö
Á¤Á¦¼ö(Purified Water)´Â »ó¼ö¸¦ ÈÇÐÀû, ¹°¸®ÀûÀÎ ¹æ¹ýÀ¸·Î ¿©°ú(°¢Á¾ ¹«±â¹°,À¯±â¹°)ÇÏ¿© ¸¸µç º¸´Ù ¼ø¼öÇÑ ¹°ÀÔ´Ï´Ù. ÁÖ·Î Á¦¾àȸ»ç¿¡¼ ¾×Á¦³ª ¿¬°íÁ¦ÀÇ Á¶Á¦½Ã ¿ë¸Å·Î »ç¿ëµÇ¸ç ¶Ç´Â ±â±¸ ¼¼Ã´¿ë ¼¼Ã´¼ö·Î »ç¿ëµË´Ï´Ù.
PCW
Procees Cooling WaterÀÇ ¾àÀÚ·Î »ý»ê Àåºñ ³Ã°¢¿ë Water·Î »ç¿ëµË´Ï´Ù. PCW SystemÀº »ý»êÀåºñ¿¡ ³Ã°¢¼ö¸¦ È¿À²ÀûÀÌ°í ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î °ø±ÞÇÔÀ¸·Î½á »ý»êÀåºñ ¹ß»ý ¿ºÎÇϸ¦ ¿ÜºÎ·Î ¹æÃâÇÏ¿© »ý»êÀåºñÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ µ¿ÀÛÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Çϸç Clean room °øÁ¶ºÎÇϸ¦ ÁÙ¿©ÁÖ´Â System ÀÔ´Ï´Ù.
CDA
Clean Dry Air System À̶õ ¾ÐÃà°ø±â Áß¿¡ Æ÷ÇԵǴ ¸ÕÁö, À¯ºÐ, ¼öºÐ µîÀÇ ¿À¿°¹°Áú(Contamination)À» ¿ä±¸ Á¤µµ¿¡ ±âÃÊÇÑ ±âÁØ°ª ³»·Î Á¦°ÅÇؼ ÃÖÀûÀÇ ¾ÐÃà°ø±â¸¦ °ø±ÞÇÏ´Â ±â±âÀÔ´Ï´Ù. CDA´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Àåºñ¿¡ N2¿Í ÇÔ²² °¡Àå ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ¸ç °¢ »ý»êÀåºñÀÇ A.A.V(Auto Air Valve) µ¿ÀÛ ¹× Àü¼Û ÀåÄ¡ ±âŸ °ø¾Ð±â¿¡ ÀÌ¿ëµË´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¹ëºê¸¦ Á¶ÀýÇÒ ¸ñÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÏ¸ç °¢ Àåºñ ³»¿¡ ´Ù¸ñÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ¹ëºê µîÀº °ø±â¿¡ ÀÇÇØ ÀÚµ¿À¸·Î Á¶Àý µÇµµ·Ï ÇÕ´Ï´Ù
N2/Ar
Gas Ư¼º¿¡ µû¸¥ Æ©ºêÀÇ ¼±Á¤, Cabinet ¹× VMB ±¸¼ºÀ¸·Î ÃÖÀûÀÇ »ç¿ëȯ°æÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
Stream
º¸ÀÏ·¯¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ °í¿ÂÀÇ Áõ±â·Î, ³¹æ ¹× ¿¿øÀ¸·Î¼ Steam »ç¿ëÀ» À§ÇÑ ¼³°è, ½Ã°øÀÇ Total ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
WWT(Æó¼ö)
Æó¼öó¸® ¹æ½Ä¿¡ µû¶ó ¼³°èºÎÅÍ ½Ã°ø±îÁö Total¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á Ç°Áú Çâ»ó ¹× °í°´°úÀÇ ½Å·Ú¼ºÀ» ±Ø´ëÈÇÕ´Ï´Ù. °øÁ¤¿¡¼ Æó¼ö ¼ººÐ, ¹èÃâ·®À» °í·ÁÇÏ¿© °¢ ´Ü°èº° Æó¼öó¸® ±âÁØ¿¡ºÎÇÕÇϵµ·Ï ¼³°è ¹× ½Ã°øÇÏ¿© °í°´ÀÇ Needs¸¦ ¸¸Á·ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °á°ú¹°À»Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.